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Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境！提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、适合清洁制程应用的干泵
气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.
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型号 |
接口尺寸 DN |
极限真空度 mbar |
抽速 |
-大漏率 |
重量 |
|
|
有气镇阀 |
无气镇阀 |
m3/h |
mbar l/s |
kg |
||
|
ACP 15 SD |
25 |
0.1 |
3.10-2 |
14 |
< 5.10-7 |
23 |
|
ACP 28 SD |
25 |
0.1 |
3.10-2 |
27 |
< 5.10-7 |
30 |
|
ACP 40 SD |
40 |
0.1 |
3.10-2 |
37 |
< 5.10-7 |
32 |
SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可保护低压和高压轴承, 并稀释一定量的腐蚀性气体.
CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
SH: 无氟版本
CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁, 无尘, 无腐蚀性的气体
紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵
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型号 |
进气口尺寸 DN |
极限压力 hPa |
抽速 |
噪音比 |
重量 |
|
m3/h |
dB (A) |
kg |
|||
|
A 100 L |
50 |
6.6 X 10-3 |
100 |
58 |
100 |
|
A 100L ES |
50 |
7 X 10-4 |
100 |
55 |
100 |
|
A 200 L |
50 |
8 X 10-3 |
200 |
58 |
100 |
L: 标准版本 ES: 节能版本
适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用
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型号 |
连接尺寸 DN |
吹扫流为50 SL/mn 极限压强 |
抽速 |
噪音比 |
重量 |
|
Mbar |
m3/h |
dBA |
kg |
||
|
ACP 120 |
50 |
NA |
95 |
< 65 |
205 |
|
ACP 120 G |
50 |
3E-2 |
95 |
< 65 |
205 |
|
ACG 600 G |
100 |
6 X 10-3 |
480 |
68 |
320 |
二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效先进技术
具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, -高节约能耗可达 50％, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了-先进的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50％的空间.
三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
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