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KRI 霍尔离子源 eH 200
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸-小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工具.
KRI 霍尔离子源 eH 200 技术参数：
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型号 |
eH 200 |
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供电 |
DC magnetic confinement |
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- 电压 |
40-300V VDC |
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- 离子源直径 |
~ 2 cm |
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- 阳极结构 |
模块化 |
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电源控制 |
eHx-3005A |
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配置 |
- |
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- 阴极中和器 |
Filament or Hollow Cathode |
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- 离子束发散角度 |
> 45° (hwhm) |
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- 阳极 |
标准或 Grooved |
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- 水冷 |
无 |
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- 底座 |
移动或快接法兰 |
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- 高度 |
2.0' |
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- 直径 |
2.5' |
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-加工材料 |
金属 |
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-工艺气体 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
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- 安装距离 |
6-24” |
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- 自动控制 |
控制4种气体 |
* 可选: 可调角度的支架; Filamentless; Sidewinder
KRI 霍尔离子源 eH 200 应用领域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉积 DD
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